自动搬送系统 Fab Layout 计划 设计 及 模拟分析

自动反送系统和Fab布局计划、设计及模拟分析以常规例子说明了上述300毫米半导体Fab及FPD Fab中的自动反送系统。如果从理论上过于接近,则因篇幅的局限,如果缩小,将无法连续表达内容,因此按照在一般生产线上的自动反馈系统和Fab设计的顺序依次进行说明。虽然以对例子的说明为主,但由于以在实际生产线上可能出现的现象为基础进行了说明,所以根据理解程度,包含了很多信息。...

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FPD Fab中 自动搬送 系统

‘FPD Fab中的自动返送系统是第一个300毫米半导体Fab的自动返送系统,因此可以根据TFT-FPD量产线的世代(Generation)的变化,不同的系统适用,以实际量产线的变化倾向为主制定。在下次会议上制定的自动反送系统和Fab布局的计划、设计及模拟分析中,为了优化半导体及FPD Fab的自动反送系统,将针对模拟的方法、统计分析和Fab的整体流程和考虑事项进行编制。...

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