AMHS for Display Production Fab

Clean Stocker (OLED & TFT-LCD)

  • Introduction

Display용 Clean Stocker는 각 공정별 특성에 맞도록 제품의 성능과 Cleanroom 환경에 맞도록 Stocker별로 맞춤형(Customizing) 설계를 한다.
또한 Display Fab의 특성인 EQ In-Line을 기본으로 적용하여 Stocker의 기능을 WIP(Work In Process)의 저장 뿐만 아니라 반송의 기능을 동시에 할 수 있으며, 반송량이 많을 경우 Dual Crane을 기본 적용한다.
Clean Stocker는 CPS(Contactless Power Supply)를 적용하여 비 접 촉식 전원공급을 통하여 고속 반송을 구현하였으며, Cleanroom Standard(FED-209E)와 SEMI E88(Stocker SEM) Standard를 준수 한다.

  • Specification
  • Features and Benefits

High-Density Storage

Available in minimized Dead space, maximizing storage capacity in efficiency footprint.

Meets Industry standards

Compliance with SEMI standards ensures interoperability with other cleanroom equipment.

Communication

SECS / HSMS / GEM compatible

OHT(Over Head Hoist Transport) System

  • Introduction

Display용 OHT System은 각 공정별 WIP(Work In Process)를 각 Process의 우선순위를 실시간으로 파악하여 이송 시켜주는 것을 목 적으로 한다. Display Fab의 특성상 고하중용 Cassette를 이송하 는 경우가 많기 때문에 Single Rail을 적용하는 경우가 많다.
최근 OLED 산업에서 Rigid OLED, Flexible OLED, Foldable OLED 등 다양한 제품에 따른 공정의 세분화에 따라 보다 유연한 반송시스템이 요구되고 있어 저하중용 Dual Rail type OHT System의 효용성은 점차 증대되고 있다.
OHT System은 Cleanroom내에서 천정 이송방식이기 때문에 기 본적으로 CPS(Contactless Power Supply)를 적용하여 비 접촉식 전원공급을 통하여 고속 반송을 구현하였으며, Cleanroom Standard(FED-209E)와 SEMI E82(IBSEM) Standard를 준수한다.

  • Specification
  • Features and Benefits

Easy to Expand Module design

Module design lets you add branch rail for no downtime.(Bypass & Blocking routing by OHTC)

Real time scheduling

Allows to assign priority vehicle dispatch for process priority and line issues

Shortest routing algorism

Intelligent shortest routing path, minimized delivery time.

Maximized throughput

High-speed vehicle transport time.

Communication

SECS / HSMS / GEM compatible

OHS(Over Head Shuttle) System

  • Introduction

Display용 OHS System은 각 공정간 Stocker와 Stocker 사이의 Cassette의 이송을 담당하며, 주로 반송량이 많은 Array 공정의 Interbay 에서 주로 사용된다.
Display Fab의 특성상 Cassette가 외부 노출된 형태를 띠고 있기 때 문에 System적용시 청정도를 우선 고려해야 한다. 또한 OHS System은 고하중의 Cassette이송을 주로 하기 때문에 Ceiling Weight에 대한 적용하기 전에 충분히 고려되어야 한다.
OHS System은 Cleanroom내에서 천정 이송(Ceiling Transport) 방 식 이기 때문에 기본적으로 CPS(Contactless Power Supply)를 적용 하여 고속 반송을 구현하였으며, Cleanroom Standard(FED-209E)와 SEMI  E82(IBSEM) Standard를 준수한다.

  • Specification
  • Features and Benefits

Real time scheduling

Allows to assign priority vehicle dispatch for process priority and line issues.

Shortest routing algorism

Intelligent shortest routing path, minimized delivery time.

Maximized throughput

High-speed vehicle transport time.

Communication

SECS / HSMS / GEM compatible

OHCV(Over Head Conveyor) System

  • Introduction

OHCV System은 각 Stocker와 Stocker사이에서 Cassette 이송을 담당하며, Main Fab에서는 소량의 반송량과 Backup 반송, 우회 반 송 등을 담당하게 된다. 각각의 공정장비가 Stocker내에 In-Line화 가 기본적인 Layout 설계 개념으로 볼 때 Stocker간 OHCV는 Stocker In/Out port로 취급하여 별도 CIM를 사용하지 않고 STK CIM에서 직접 관리될 수 있다.
Fab의 특성상 Cassette가 외부 노출된 형태를 띠고 있기 때문에 System적용시 Ceiling FFU 또는 OHCV 측면 Partition 및 하부 Suction EFU를 설치하여 자체적인 청정도 설계를 적용할 수 있다. OHCV System은 Cleanroom 내에서 천정 이송방식이기 때문에 기 본적으로 CPS(Contactless Power Supply)를 적용하여 비 접촉식 전원공급을 구현하였으며, Cleanroom Standard(FED-209E)를 준 수한다.

  • Specification
  • Features and Benefits

Stocker to Stocker Connection

There is no footprint in the form of direct connection between a Stocker and another Stocker, and it is possible to implement time balancing between Stocker with intermediate buffer configuration.

Management

No separate CIM is needed because it is managed by the Stocker itself.

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